Indigo Optical Systems
Hochleistungsoptik und Präzisionsinstrumente für EUV-Quellen und die Halbleiterindustrie.
Indigo Optical Systems ist spezialisiert auf die Entwicklung und Anpassung optischer Systeme für anspruchsvolle Anwendungen im Vakuumultraviolett- bis Weichröntgenbereich (EUV/SXR). Das Portfolio umfasst hochauflösende Spektrometer, Beamlines und Interferometer. Darüber hinaus bietet das Unternehmen zerstörungsfreie Inspektionslösungen für Halbleiterwafer, Masken und Optiken an, die für höchste Präzision im Nanometerbereich benötigt werden.
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Über die Firma Indigo Optical Systems GmbH
Indigo Optical Systems entwickelt und vertreibt hochmoderne optische Instrumente, die speziell für den Einsatz mit lasergetriebenen EUV-Quellen (Extreme Ultraviolett) konzipiert sind. Die Hauptabnehmer finden sich in der wissenschaftlichen Forschung, insbesondere im Bereich der Attosekunden- und zeitaufgelösten Experimente, sowie in der Halbleiterindustrie, wo Präzision im Nanometerbereich entscheidend ist. Die Produktpalette reicht von maßgeschneiderten optischen Lösungen, die Spektroskopie, Abbildung und Diagnostik im VUV-, EUV- und SXR-Bereich (Soft X-Ray) ermöglichen. Diese Systeme sind darauf ausgelegt, höchste Anforderungen an Auflösung, Effizienz und Vakuumkompatibilität zu erfüllen, um innovative Forschung und industrielle Fertigung voranzutreiben.
Ein wesentlicher Fokus liegt auf der Bereitstellung nicht-invasiver EUV-Inspektionstechnologien, die es ermöglichen, Optiken, Masken und integrierte Schaltungen in der Fertigung präzise zu überprüfen. Darüber hinaus bietet Indigo Optical Systems spezialisierte Beamline-Designs und Spektrometersysteme an, die eine Auflösung von bis zu λ/Δλ ">" 10000 erreichen können. Unterstützt werden verschiedene Lichtquellen wie High-Harmonic Generation (HHG), plasmabasierte Quellen, Synchrotrons und Freie-Elektronen-Laser (FELs). Diese Instrumente sind essenziell für komplexe Analysemethoden wie ARPES, NEXAFS und kohärente Beugungsabbildung (CDI).
Angesichts der oft einzigartigen und komplexen Anforderungen in Forschung und Industrie legt das Unternehmen großen Wert auf vollständig kundenspezifische Lösungen. Das Team nutzt seinen wissenschaftlichen Hintergrund, um optisches und technisches Design, Beschichtungen, Algorithmen, Motorisierung und Vakuumsysteme individuell anzupassen. Ob es sich um die Modifizierung bestehender Produkte oder die Neuentwicklung kompletter optischer Systeme handelt, Indigo Optical Systems arbeitet eng mit seinen Partnern zusammen, um optimale Leistung, Effizienz und Benutzerfreundlichkeit im Nanometer- und Pikometermaßstab zu gewährleisten.